平板---显影加工工艺-利成感光-平板---显影加工

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    2024-1-1

张应叙
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显影液表面停留(puddle):为了让显影液与光刻胶进行充分反应,显影液喷淋后需要在硅片表面停留一般为几十秒到一两分钟。---显影加工是半导体工业制程中的一种加工方法,平板---显影加工工艺,也被称为光刻工艺。它是通过在芯片表面上涂覆一层光刻胶,平板---显影加工,并使用掩膜在光刻胶上---出所需要的芯片图案,通过显影来去除未---的部分,平板---显影加工,将芯片图案准确地转移到芯片表面的制程。


显影工艺是指用显影液去除晶圆上部分光刻胶,形成三维的物理图形将显影液涂覆在---后的晶圆表面上,正胶的---区域和负胶的非---区域溶于显影液中,进一步将反应聚合物和显影液残留冲洗后,就可以显现出光刻胶中的图形,如图1所示。尽管对193i负胶的研发已经倾注了很大的努力,但是其性能仍然与正胶有比较大的差距,所以提出负显影(negative tone develop,ntd)。


加工方法主要应用于芯片制造过程中的多个步骤中,如制造晶体管、金属线、电容、电阻等元件。通过它可以在芯片上制造出不同的图案,从而实现各种电子器件的功能。---显影加工是半导体工业中非常重要的一部分。

---一般在---机内进行,目前的---机依据光源冷却方式可分为风冷和水冷,---取决于除干膜致抗蚀剂、光源选择、---时间、菲林胶片等因素。





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